[实用新型]一种真空镀膜生产线有效
申请号: | 201821812062.2 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN209338657U | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 肇庆市前沿真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 朱亚 |
地址: | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空室 传送机构 出片 进片 真空镀膜生产线 回转室 腔内 本实用新型 并列设置 工件小车 产线 返回装置 工作效率 真空镀膜 流出 小车 传送 投资 | ||
1.一种真空镀膜生产线,其特征在于,包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的回转室,所述真空室与回转室连接。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔流出的工件小车传送进入进片腔的回转组件,所述回转组件、回转室分别设置在真空室两端。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架,所述装卸片架设置在回转组件与真空室之间。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述回转室包括与真空室连通的回转仓体,设置在回转仓体上用于将工件小车旋转180°的第一回转机构,设置在第一回转机构上用于运输工件小车的第三传送机构,所述回转仓体上与真空室配合的位置开设有进出料口。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述第一回转机构包括用于放置工件小车和第三传送机构的第一回转支架,连接第一回转支架与回转仓体的设有带齿外圈的第一回转支承,与带齿外圈啮合的第一传动齿轮,以及用于驱动第一传动齿轮转动的第一驱动装置。
6.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述回转室还包括用于调节第一回转机构高度的调高机构,所述调高机构设置在第一回转机构与回转仓体之间。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述回转室还包括用于调节第一回转机构回转中心的回转中心调整机构,所述回转中心调整机构穿过调高机构与回转仓体连接。
8.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述回转组件包括设置在真空室一侧的回转机构底架,设置在回转机构底架上用于将工件小车旋转180°的第二回转机构,设置在第二回转机构上的用于运输工件小车的第四传送机构。
9.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述第三传送机构包括导向机构、转动设置在第一回转支架上的多个摩擦轮,用于驱动摩擦轮转动的第二驱动装置,连接摩擦轮与第二驱动装置的传动组件,所述工件小车一端滑动穿设在导向机构上,另一端抵靠在摩擦轮上。
10.根据权利要求9所述的真空镀膜生产线,其特征在于,所述第三传送机构还包括转动穿设在回转仓体下部的轴套,所述第二驱动装置通过轴套与第一回转支架连接,与第一回转支架同轴转动。
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