[实用新型]一种真空镀膜生产线

说明书

本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。所述真空镀膜生产线包括至少一个工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内的第一传送机构和第二传送机构、回转室，所述真空室与回转室连接。通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的回转室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本实用新型具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。

背景技术

真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。

现有技术比较典型的立式连续真空镀膜生产线包括：依次连接的前横移装置、进片架、进片室、前精抽室、前过渡室、镀膜室(镀膜室可能有若干个)、后过渡室、后精抽室、出片室、出片架、后横移装置和工件小车返回装置，上述的各个室统称为“真空室”；某些真空室的连接处设置有真空锁(一种翻板阀，关闭时可隔断两个真空室之间的气体通路，开启时可让工件小车从阀门的出入料口通过)和抽气机组(使真空室获得一定负压的装置)；每个真空室、前横移装置、进片架、出片架、后横移装置和工件小车返回组件均设置有驱动工件小车作平移运动的工件小车传送装置；前、后横移装置还可带动工件小车左右移动。

自动镀膜过程：工件小车返回装置上的工件小车(用于承载被镀膜的工件如玻璃、胶板等)经前横移装置进入进片架装载工件，当进片室真空锁开启时工件小车进入进片室，当工件完全进入进片室后关闭进片室真空锁，进片室抽气机组对进片室抽气，当进片室气压达到一定数值(通常为3帕)时开启前精抽室真空锁，工件小车进入前精抽室；就这样工件小车依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件小车的工件走过镀膜室后就被镀上了一层或多层薄膜，再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从工件小车上取下；取完工件后工件小车走进后横移装置，再经工件小车返回装置走进后横移装置完成一个工作循环从而达到连续生产的目的(生产线上同时设置有多台工件小车)。

现有技术立式连续真空镀膜生产线的真空室比较多，还设置有专门的工件小车返回装置，具有复杂结构复杂、占地面积大、投资成本大等不足之处。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种真空镀膜生产线，克服现有的真空镀膜生产线结构复杂，占地面积大，投资成本大等问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜生产线，包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的回转室，所述真空室与回转室连接。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔流出的工件小车传送进入进片腔的回转组件，所述回转组件、回转室分别设置在真空室两端。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架，所述装卸片架设置在回转组件与真空室之间。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述回转室包括与真空室连通的回转仓体，设置在回转仓体上用于将工件小车旋转180°的第一回转机构，设置在第一回转机构上用于运输工件小车的第三传送机构，所述回转仓体上与真空室配合的位置开设有进出料口。