[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备有效
| 申请号： | 201821809037.9 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209555351U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 田保峡;闻益;曲士座 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述底板上设置有N排非金属蒸发源，每排非金属蒸发源包括M个沿第一预设方向设置的非金属蒸发源；在第一预设方向上，所述N排非金属中至少包括一排非金属蒸发源的首端、末端的非金属蒸发源较其他排的首端、末端错位预设距离；其中，M为大于等于8小于等于15的整数，N为大于等于2的整数；每排中的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 镀膜设备 沉积腔室 首端 预设 底板 本实用新型 太阳能电池 衬底表面 发电效率 方向设置 厚度均匀 用电需求 预设距离 错位 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其特征在于，在所述底板上设置有N排非金属蒸发源，每排非金属蒸发源包括M个沿第一预设方向设置的非金属蒸发源；在第一预设方向上，所述N排非金属中至少包括一排非金属蒸发源的首端、末端的非金属蒸发源较其他排的首端、末端错位预设距离；其中，M为大于等于8小于等于15的整数，N为大于等于2的整数；每排中的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值。
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