[实用新型]一种张网设备

摘要

本实用新型涉及制造装备，特别涉及一种张网设备。本实用新型提供的张网设备，包括夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统、预对准台、掩膜框架平台、减振平台、搬运系统和控制单元，其中夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座。本实用新型提供的张网设备利用夹爪系统中的稳定机构和吸附底座间的相互作用，可以消除张网制程中夹持机构的位移和旋转，进而提高张网精度，提升张网效率和良率。

主权项

1.一种张网设备，其特征在于，所述张网设备包括夹爪系统，所述夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座；测量系统，所述测量系统测量夹爪的位置及金属掩膜版的张网情况；焊接系统，所述焊接系统用于将金属掩膜版焊接到掩膜框架上；运动系统，所述运动系统对夹爪系统、焊接系统和测量系统进行精确定位和控制；预对准台，所述预对准台用于承载金属掩膜版并进行粗对准；掩膜框架平台，所述掩膜框架平台承载所述掩膜框架并使其精确定位；减振平台，所述减振平台承载夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统和掩膜框架平台并减小由张网焊接系统内部或外界带来的振动；搬运系统，所述搬运系统用于对金属掩膜版和掩膜框架的搬入和搬出；控制单元，所述控制单元用于控制所述张网设备的张网过程。