[实用新型]修整组件和化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201821778348.3 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209125611U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 韩斌;辛君;林宗贤;吴龙江 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种修整组件和化学机械研磨设备，所述修整组件包括：修整盘，用于修整抛光垫的抛光面，使所述抛光垫的抛光面保持粗糙度；固定盘，具有一连接面，用于吸附所述修整盘的背面；检测单元，包括：管道，所述管道的第一端贯穿所述固定盘，当所述固定盘吸附于所述修整盘的背面时，所述管道、固定盘以及所述修整盘背面之间形成密闭空间；液体箱，与所述管道的第二端连接，用于向所述管道内提供液体；流量传感器，设置于所述管道上，用于检测所述管道内的流量。所述修整组件能够及时检测修整盘是否掉落。 | ||
| 搜索关键词： | 修整盘 修整组件 固定盘 化学机械研磨设备 背面 抛光垫 抛光面 吸附 检测 本实用新型 流量传感器 密闭空间 粗糙度 第一端 连接面 液体箱 掉落 修整 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种修整组件，其特征在于，包括：修整盘，用于修整抛光垫的抛光面，使所述抛光垫的抛光面保持粗糙度；固定盘，具有一连接面，用于吸附所述修整盘的背面；检测单元，包括：管道，所述管道的第一端贯穿所述固定盘，当所述固定盘吸附于所述修整盘的背面时，所述管道、固定盘以及所述修整盘背面之间形成密闭空间；液体箱，与所述管道的第二端连接，用于向所述管道内提供液体；流量传感器，设置于所述管道上，用于检测所述管道内的流量。
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