[实用新型]一种镀膜防污染辅助装置有效
| 申请号： | 201821776544.7 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN208995595U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张洪升;贾耘 | 申请（专利权）人： | 昆明南旭光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市经开区*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜防污染辅助装置，包括镀膜室，所述镀膜室的内部设置有抽气口与进气口，且抽气口位于进气口的一侧，所述镀膜室外壁的两侧均设置有进出口，所述镀膜室外壁的两侧靠近进出口的位置均对称连接有电动推杆，且电动推杆位于进出口的上方，所述电动推杆加长杆的端部固定连接有衔接杆，所述衔接杆远离电动推杆的一端焊接有箱体，且箱体穿过进出口延伸至镀膜室内，所述箱体外壁远离衔接杆的一侧沿高度方向连接有固定板。本实用新型中，纤维布与玻璃板在来回摩擦的时候会产生静电，此时在静电的作用下会吸附镀膜室内的灰尘，相对减少灰尘在镀膜过程中对基板或者镀膜材料污染，提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 电动推杆 衔接杆 进气口 进出口 本实用新型 辅助装置 静电 抽气口 镀膜室 防污染 玻璃板 室外 室内 镀膜材料 镀膜过程 对称连接 内部设置 箱体外壁 对基板 固定板 加长杆 纤维布 吸附 焊接 摩擦 穿过 延伸 污染 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜防污染辅助装置，包括镀膜室(1)，其特征在于：所述镀膜室(1)的内部设置有抽气口(2)与进气口(3)，且抽气口(2)位于进气口(3)的一侧，所述镀膜室(1)外壁的两侧均设置有进出口(4)，所述镀膜室(1)外壁的两侧靠近进出口(4)的位置均对称连接有电动推杆(5)，且电动推杆(5)位于进出口(4)的上方，所述电动推杆(5)加长杆的端部固定连接有衔接杆(6)，所述衔接杆(6)远离电动推杆(5)的一端焊接有箱体(7)，且箱体(7)穿过进出口(4)延伸至镀膜室(1)内，所述箱体(7)外壁远离衔接杆(6)的一侧沿高度方向连接有固定板(8)，所述箱体(7)内壁的一侧靠近固定板(8)的位置连接有滑轨(9)，所述滑轨(9)上滑动连接有滑块(10)，所述箱体(7)的内部设置有齿轮(12)，所述齿轮(12)的中心轴固定连接有凸轮(13)，所述齿轮(12)的上方设置有移动杆(14)，所述移动杆(14)之间设置有连接杆(15)，所述滑块(10)外壁的一侧固定连接有推动杆(17)。
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