[实用新型]一种用于太阳能电池烧结炉的输送装置有效
申请号: | 201821739515.3 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN208706606U | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 | 申请(专利权)人: | 苏州南北深科智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;李萍 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池烧结炉的输送装置,能够承托传输机构使其平稳传输,且对传输机构的磨损较小,提高了传输机构的使用寿命。一种用于太阳能电池烧结炉的输送装置,包括用于输送硅片的输送机构,还包括多个设于所述烧结炉内的托条及设于相邻托条之间的轴承机构,每个所述轴承机构分别包括一或多个可绕自身轴心线转动的辊轮,所述辊轮具有与所述输送机构相接以支撑所述输送机构的圆周面。 | ||
搜索关键词: | 烧结炉 太阳能电池 传输机构 输送机构 输送装置 轴承机构 辊轮 托条 本实用新型 自身轴心线 使用寿命 圆周面 硅片 承托 磨损 转动 传输 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种用于太阳能电池烧结炉的输送装置,包括用于输送硅片的输送机构,其特征在于:还包括多个设于所述烧结炉内的托条及设于相邻托条之间的轴承机构,每个所述轴承机构分别包括一或多个可绕自身轴心线转动的辊轮,所述辊轮具有与所述输送机构相接以支撑所述输送机构的圆周面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造