[实用新型]一种新型真空镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种新型真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，真空腔体内设置一用于承载产品的承载支架、一镀膜用的电子枪以及一中空的防污罩，承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，防污罩中开设有贯穿的通孔，通孔一端朝向电子枪，通孔的另一端朝向承载支架，朝向承载支架的通孔一端的直径大于通孔另一端的直径，镀膜材料设置在通孔内；深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，冷凝盘管呈层叠线圈结构，冷凝盘管安装在与真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；冷凝盘管包括加热除霜装置。该新型真空镀膜机能够节省了清洁衬板的时间；提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

主权项

1.一种新型真空镀膜机，其特征在于，包括真空腔体和深冷泵，所述真空腔体内设置一用于承载产品的承载支架、一镀膜用的电子枪以及一中空的防污罩，所述承载支架和电子枪之间设置一镀膜材料，所述防污罩中开设有贯穿的通孔，所述通孔一端朝向所述电子枪，所述通孔的另一端朝向所述承载支架，朝向所述承载支架的所述通孔一端的直径大于所述通孔另一端的直径，所述镀膜材料设置在所述通孔内；所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；所述冷凝盘管包括加热除霜装置。