[实用新型]一种钻石线切割机硅片预清洗装置有效
| 申请号： | 201821711072.7 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN209521128U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李彦南;张猛;刘超 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种钻石线切割机硅片预清洗装置，包括机舱，机舱内设有线网工作台，线网工作台上方设有用于升降工件的工件升降装置，机舱上还设有喷淋管路，喷淋管路分别设于线网工作台的上方，喷淋管路分别设于工件升降装置的两侧。本实用新型提供的钻石线切割机硅片预清洗装置，在线网工作台上方设有喷淋管路，适用于切割机下料过程中硅片及机舱部件的预清洗，使硅片在切割完成后得到及时的预清洗，降低切割硅片后硅片表面脏花问题，为后续清洗做基础。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 喷淋管路 工作台 预清洗装置 钻石线切割 机舱 工件升降装置 本实用新型 预清洗 线网 切割 切割机 硅片表面 机舱部件 下料 清洗 升降 | ||
【主权项】：
1.一种钻石线切割机硅片预清洗装置，包括机舱，所述机舱内设有线网工作台，所述线网工作台上方设有用于升降工件的工件升降装置，其特征在于：所述机舱上还设有喷淋管路，所述喷淋管路分别设于所述线网工作台的上方，所述喷淋管路分别设于所述工件升降装置的两侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司，未经天津市环欧半导体材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821711072.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能组合式定位器
- 下一篇：一种耐高温的密封式密炼机
