[实用新型]一种具有抑制荷电现象的用于观测塑料样品的扫描电镜样品台有效

专利信息
申请号: 201821691384.6 申请日: 2018-10-18
公开(公告)号: CN208738175U 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 王暄;刘士林;杨佳明 申请(专利权)人: 哈尔滨理工大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 岳泉清
地址: 150080 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种具有抑制荷电现象的用于观测塑料样品的扫描电镜样品台,涉及一种扫描电镜样品台。目的是解决在样品镀导电膜后样品表面的信息会被导电膜覆盖导致的无法进行观测,以及镀膜过程损伤样品的结构和形貌特征的问题。该扫描电镜样品台由铝质上盖、铝质底座、第一导电网、第二导电网锁紧螺栓、固定螺栓、旋紧盖和电磁感应加热器构成;电磁感应加热器由感应线圈和交流电源构成。第一导电网和第二导电网将样品内部和样品表面的电荷输送至铝质上盖和铝质底座,因此能够有效输送积累在样品表面和内部的电荷,避免荷电现象对拍摄图像的影响,并且不需要在样品镀导电膜,避免了表面的信息会被导电膜覆盖损伤的发生。本实用新型适用于扫描电镜塑料样品。
搜索关键词: 扫描电镜样品台 导电网 塑料样品 样品表面 荷电 电磁感应加热器 导电膜覆盖 铝质底座 观测 导电膜 铝质 上盖 损伤 本实用新型 电荷输送 镀膜过程 感应线圈 固定螺栓 交流电源 拍摄图像 扫描电镜 锁紧螺栓 形貌特征 电荷 旋紧盖 积累
【主权项】:
1.一种具有抑制荷电现象的用于观测塑料样品的扫描电镜样品台,其特征在于:该扫描电镜样品台由铝质上盖(1)、铝质底座(2)、第一导电网(3)、第二导电网(31)锁紧螺栓(4)、固定螺栓(5)、旋紧盖(6)和电磁感应加热器构成;所述电磁感应加热器由感应线圈(7)和交流电源构成;所述铝质上盖(1)为圆筒体,铝质上盖(1)的上端设置有旋紧盖(6),旋紧盖(6)与铝质上盖(1)的内壁通过螺纹连接;铝质上盖(1)内旋紧盖(6)下方依次设置有水平的第一导电网(3)和第二导电网(31),第一导电网(3)外缘和第二导电网(31)外缘与铝质上盖(1)的内壁接触;铝质上盖(1)的圆周面上均匀设置有数个螺纹通孔,螺纹通孔内设置有锁紧螺栓(4);铝质底座(2)由下部直径较大的圆柱体和上部较小的圆柱体构成,感应线圈(7)设置在铝质底座(2)中上部较小的圆柱体内;铝质底座(2)的下部直径较大的圆柱体的下端面中心设置有螺纹孔,固定螺栓(5)设置在铝质底座(2)下部直径较大的圆柱体的下端面的螺纹孔内;铝质上盖(1)设置有旋紧盖(6)一端朝上设置,铝质上盖(1)另一端朝向铝质底座(2)并套设在铝质底座(2)上;所述第二导电网(31)的网线由铁芯(8)和铁芯(8)外表面包覆的铜包覆层(9)构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨理工大学,未经哈尔滨理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821691384.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top