[实用新型]吸附装置以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201821666647.8 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN208844170U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 宋裕斌;刘肖楠;安成国;靳福江 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种吸附装置以及蒸镀设备，属于蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的吸附装置在拆卸金属掩膜版时容易对金属掩膜版造成损坏的问题。本实用新型的一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，吸附装置包括：至少一个第一磁铁；与第一磁铁一一对应的第二磁铁；驱动结构，与第二磁铁连接，用于驱动第二磁铁运动，以使第二磁铁能够在与第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 吸附装置 磁性方向 金属掩膜 本实用新型 蒸镀设备 磁铁连接 磁铁运动 驱动结构 吸附 蒸镀 拆卸 指向 驱动 转换 | ||
【主权项】：
1.一种吸附装置，用于吸附金属掩膜版，其特征在于，所述吸附装置包括：至少一个第一磁铁；与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁；驱动结构，与所述第二磁铁连接，用于驱动所述第二磁铁运动，以使所述第二磁铁能够在与所述第一磁铁并排且磁性方向相同的位置或者与所述第一磁铁并排且磁性方向相反的位置间转换，所述磁性方向为由磁铁的N极指向S极的方向。
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