[实用新型]一种有利于膜料预熔的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821657988.9 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN208995586U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李亚洲 | 申请（专利权）人： | 理念光电（湖北）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443200 湖北省宜昌*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种有利于膜料预熔的真空镀膜装置，包括镀膜箱，镀膜箱内底部设有蒸发源，顶部设有镀膜伞架，镀膜伞架下方设有修正板，镀膜箱通过抽气管与真空泵连接，所述镀膜箱内侧设有支撑座，支撑座上设有竖直伸缩装置，竖直伸缩装置远离支撑座的一端设有水平伸缩装置，水平伸缩装置远离竖直伸缩装置的一端设有支撑板，转轴转动安装在支撑板上，转轴下端设有叶片，转轴通过设置在支撑板上侧的第一电机驱动。该装置能够缩短预熔时间，提高气体排出率。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩装置 镀膜箱 支撑板 支撑座 竖直 预熔 水平伸缩装置 真空镀膜装置 镀膜伞架 膜料 转轴 本实用新型 真空泵连接 电机驱动 转轴转动 抽气管 修正板 蒸发源 镀膜 排出 下端 叶片 | ||
【主权项】：
1.一种有利于膜料预熔的真空镀膜装置，包括镀膜箱（1），镀膜箱（1）内底部设有蒸发源（2），顶部设有镀膜伞架（3），镀膜伞架（3）下方设有修正板（4），镀膜箱（1）通过抽气管（5）与真空泵（6）连接，其特征在于：所述镀膜箱（1）内侧设有支撑座（7），支撑座（7）上设有竖直伸缩装置（8），竖直伸缩装置（8）远离支撑座（7）的一端设有水平伸缩装置（9），水平伸缩装置（9）远离竖直伸缩装置（8）的一端设有支撑板（10），转轴（11）转动安装在支撑板（10）上，转轴（11）下端设有叶片（12），转轴（11）通过设置在支撑板（10）上侧的第一电机（13）驱动。
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