[实用新型]大口径平面干涉仪载物台

摘要

本实用新型提出一种大口径平面干涉仪载物台，包括：底板；俯仰台，俯仰台设在底板上；第一固定支脚和第二固定支脚，第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧；高度调节支脚，高度调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧，第一固定支脚、第二固定支脚与高度调节支脚的连线构成等腰三角形；旋转台，旋转台设在俯仰台的上面；摆动组件，摆动组件设在俯仰台与旋转台之间，摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与俯仰台和旋转台相连，摆动组件用于使旋转台相对于俯仰台可摆动。根据本实用新型的一种大口径平面干涉仪载物台，可以实现俯仰角度和偏摆角度的精密调节，以保证载物台处于水平位置。

主权项

1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，包括：底板；俯仰台，所述俯仰台设在所述底板上；第一固定支脚和第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；高度调节支脚，所述高度调节支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述高度调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述高度调节支脚的连线构成等腰三角形；旋转台，所述旋转台设在所述俯仰台的上面；摆动组件，所述摆动组件设在所述俯仰台与所述旋转台之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述旋转台相连，所述摆动组件用于使所述旋转台相对于所述俯仰台可摆动。