[实用新型]大口径平面干涉仪载物台

权利要求书

1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，包括：

底板；

俯仰台，所述俯仰台设在所述底板上；

第一固定支脚和第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；

高度调节支脚，所述高度调节支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述高度调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述高度调节支脚的连线构成等腰三角形；

旋转台，所述旋转台设在所述俯仰台的上面；

摆动组件，所述摆动组件设在所述俯仰台与所述旋转台之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述旋转台相连，所述摆动组件用于使所述旋转台相对于所述俯仰台可摆动。

2.根据权利要求1所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述摆动组件包括：

下板，所述下板固定设在所述俯仰台上；

上板，所述上板固定设在所述旋转台上并与所述下板可枢转地相连；

转轴，所述转轴沿左右方向延伸并与所述上板固定相连；

调节头，所述调节头与所述转轴的右端相连用于使所述转轴转动。

3.根据权利要求2所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述调节头的轴线与所述转轴的轴线正交。

4.根据权利要求3所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述转轴的右端构造成第一伞齿轮，所述调节头的后端构造成与所述第一伞齿轮相适配的第二伞齿轮。