[实用新型]大口径平面干涉仪载物台

说明书

本实用新型提出一种大口径平面干涉仪载物台，包括：底板；俯仰台，俯仰台设在底板上；第一固定支脚和第二固定支脚，第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧；高度调节支脚，高度调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧，第一固定支脚、第二固定支脚与高度调节支脚的连线构成等腰三角形；旋转台，旋转台设在俯仰台的上面；摆动组件，摆动组件设在俯仰台与旋转台之间，摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与俯仰台和旋转台相连，摆动组件用于使旋转台相对于俯仰台可摆动。根据本实用新型的一种大口径平面干涉仪载物台，可以实现俯仰角度和偏摆角度的精密调节，以保证载物台处于水平位置。

技术领域

本实用新型涉及一种大口径平面干涉仪载物台。

背景技术

利用大口平面干涉仪测量平面元件的平面度时，需要将被测元件竖起来，并且需要调整被测元件与干涉仪标准镜之间的角度，使得他们之间的夹角接近0度，也就是使它们接近绝对平行，要使得调整精度如此之高就需要高精密的载物台，该载物台需要实现俯仰和偏摆两个方向的精密调节。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种大口径平面干涉仪载物台，可以实现俯仰角度和偏摆角度的精密调节，以保证载物台处于水平位置。

根据本实用新型的一种大口径平面干涉仪载物台，包括：

底板；

俯仰台，所述俯仰台设在所述底板上；

第一固定支脚和第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；

高度调节支脚，所述高度调节支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述高度调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述高度调节支脚的连线构成等腰三角形；

旋转台，所述旋转台设在所述俯仰台的上面；

摆动组件，所述摆动组件设在所述俯仰台与所述旋转台之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述旋转台相连，所述摆动组件用于使所述旋转台相对于所述俯仰台可摆动。

有利地，所述摆动组件包括：

下板，所述下板固定设在所述俯仰台上；

上板，所述上板固定设在所述旋转台上并与所述下板可枢转地相连；

转轴，所述转轴沿左右方向延伸并与所述上板固定相连；

调节头，所述调节头与所述转轴的右端相连用于使所述转轴转动。

有利地，所述调节头的轴线与所述转轴的轴线正交。

有利地，所述转轴的右端构造成第一伞齿轮，所述调节头的后端构造成与所述第一伞齿轮相适配的第二伞齿轮。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的大口径平面干涉仪载物台的俯视图；

图2是沿图1中的线A-A的剖面图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。