[实用新型]一种冷却结构、主基板冷却装置及光刻机有效
| 申请号： | 201821616236.8 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208922064U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 楚传鹏;杨志斌;宋兴龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷却结构、主基板冷却装置及光刻机，所述冷却结构包括设置在所述主基板内部的供循环冷却液通过的冷却通道，所述连续管道在所述主基板内的路径分为上下两层且形状相同，所述循环冷却液在两层管道中的流动方向相反。所述主基板的冷却装置包括：温度控制单元、主基板以及连接两者的分流块和集流块，所述循环冷却液从所述温度控制单元的第二出水口经所述分流块进入所述第一进水口，流经所述冷却通道后，从所述第一出水口经所述集流块回流到所述温度控制单元。所述光刻机包括主基板、框架、减振器、物镜和测量分系统。本实用新型解决了现有英瓦合金材质主基板制造成本高、周期长的问题，同时，保证了光刻机精度。 | ||
| 搜索关键词： | 主基板 光刻机 温度控制单元 循环冷却液 冷却结构 冷却装置 本实用新型 冷却通道 出水口 分流块 流动方向相反 测量分系统 连续管道 上下两层 制造成本 减振器 进水口 瓦合金 两层 物镜 保证 | ||
【主权项】：
1.一种冷却结构，其特征在于，所述冷却结构包括设置在主基板内部的供循环冷却液通过的冷却通道，所述冷却通道为一根连续管道，所述连续管道在所述主基板内的路径分为上下两层且形状相同，所述循环冷却液在两层管道中的流动方向相反。
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