[实用新型]一种用于硅电池的二氧化硅膜在线生成系统有效
| 申请号： | 201821606787.6 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN208862007U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 崔水炜;万肇勇;黄登强;吴章平 | 申请（专利权）人： | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜在线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给适量浓度的臭氧和空气混合气体；喷淋装置，位于生产线的硅片成型和氮化硅膜生成步骤之间，所述喷淋装置与所述臭氧供给系统相连，所述硅片至于所述喷淋装置内，表面与臭氧反应形成二氧化硅膜。从而实现在原有硅电池的氮化硅膜内增设二氧化硅膜，从而实现降低电位诱导衰减的效果，且该系统可实现在线生产，使生产效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅膜 喷淋装置 硅电池 臭氧供给系统 氮化硅膜 在线生成 硅片 空气混合气体 本实用新型 臭氧反应 电位诱导 生产效率 生成步骤 在线生产 臭氧 衰减 成型 增设 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅电池的二氧化硅膜在线生成系统，其特征在于，包括：臭氧供给系统，用于供给适量浓度的臭氧和空气混合气体；喷淋装置，位于生产线的硅片成型和氮化硅膜生成步骤之间，所述喷淋装置与所述臭氧供给系统相连，所述硅片至于所述喷淋装置内，表面与臭氧反应形成二氧化硅膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
