[实用新型]一种半导体硅片研磨装置

摘要

本实用新型涉及半导体硅片研磨设备技术领域，且公开了一种半导体硅片研磨装置，包括研磨箱，研磨箱的内部活动套装有研磨碗，且研磨碗的底部与支撑板的顶端固定连接，支撑板的底端固定安装有滑轮，且支撑板的一端与连杆的一端固定连接，连杆的另一端固定安装有拉环，研磨箱的顶端与液压杆的底端固定连接，且液压杆的顶端与套装板底端的一侧固定连接，套装板的内部固定套装有电机，且电机的输出轴延伸至研磨箱的内部并固定套装有安装板。该半导体硅片研磨装置，通过设置研磨碗、支撑板、滑轮、连杆和拉环可以实现将研磨后的硅片拉出，使得出料方便，同时也方便在研磨碗的内部添加硅片，从而便于完成研磨的作用。

主权项

1.一种半导体硅片研磨装置，包括研磨箱（1），其特征在于：所述研磨箱（1）的内部活动套装有研磨碗（2），且研磨碗（2）的底部与支撑板（3）的顶端固定连接，所述支撑板（3）的底端固定安装有滑轮（4），且支撑板（3）的一端与连杆（5）的一端固定连接，所述连杆（5）的另一端固定安装有拉环（6），所述研磨箱（1）的顶端与液压杆（7）的底端固定连接，且液压杆（7）的顶端与套装板（8）底端的一侧固定连接，所述套装板（8）的内部固定套装有电机（9），且电机（9）的输出轴延伸至研磨箱（1）的内部并固定套装有安装板（10），所述安装板（10）顶端的一侧活动套装有安装柱（11），且安装柱（11）的底端延伸至研磨箱（1）的内部并固定套装有固定球（12），所述固定球（12）的外壁活动套装在研磨球（13）的内部，且安装柱（11）的顶端延伸至安装板（10）顶端的外部，所述安装板（10）的顶部活动套装有螺纹杆（14），且螺纹杆（14）的一端延伸至安装板（10）一侧的外部并穿过固定板（15），所述研磨箱（1）的一侧活动套装有旋转杆（16），且旋转杆（16）的内部固定套装有挡板（17），所述挡板（17）的一侧与研磨碗（2）的一侧进行接触。