[实用新型]磁透镜及电子聚焦设备有效

专利信息
申请号: 201821588279.X 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN209104114U 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 张国万;王增斌 申请(专利权)人: 北京量子体系科技股份有限公司
主分类号: H01J37/141 分类号: H01J37/141
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何倚雯
地址: 100193 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开了一种磁透镜及电子聚焦设备,其中该磁透镜包括:电子源,用于发射电子;磁场组件,设置于电子源的出射路径上,且至少包括两正交设置的磁场线圈组,其中,通过控制磁场组件中磁场线圈组的电流通断产生磁场,以使得电子在所述磁场的作用下汇聚于磁场组件远离电子源的一侧。通过上述实施方式,本申请能够实现至少两方向上电子的聚焦和成像。
搜索关键词: 磁场组件 磁透镜 电子源 磁场线圈组 电子聚焦 磁场 电流通断 发射电子 正交设置 出射 成像 申请 聚焦 汇聚
【主权项】:
1.一种磁透镜,其特征在于,所述磁透镜包括:电子源,用于发射电子;磁场组件,设置于所述电子源的出射路径上,且至少包括两正交设置的磁场线圈组,其中,通过控制所述磁场组件中所述磁场线圈组的电流通断产生磁场,以使得所述电子在所述磁场的作用下汇聚于所述磁场组件远离所述电子源的一侧。
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