[实用新型]过滤装置有效
| 申请号： | 201821588059.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN209020031U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 廖昌洋;杨永刚;蒋阳波;顾立勋;徐融 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D35/16 | 分类号： | B01D35/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种过滤装置。所述过滤装置包括：过滤器，包括输入端以及与所述输入端相对的输出端，用于对自所述输入端输入的液体进行过滤；吹扫部，用于自所述输入端向所述过滤器传输吹扫气体，以将所述过滤器内的残留液体自所述输出端排出。本实用新型加速了过滤器内部残留液体的排出速度，缩短了过滤装置的维护时间，减少了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 过滤装置 输入端 本实用新型 残留液体 输出端 排出 半导体制造技术 吹扫气体 人力成本 吹扫 过滤 传输 维护 | ||
【主权项】：
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：过滤器，包括输入端以及与所述输入端相对的输出端，用于对自所述输入端输入的液体进行过滤；吹扫部，用于自所述输入端向所述过滤器传输吹扫气体，以将所述过滤器内的残留液体自所述输出端排出。
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