[实用新型]一种LED行业MOCVD设备用尾气收集环有效
| 申请号： | 201821568691.5 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208799929U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 马建军 | 申请（专利权）人： | 嵊州市西格玛科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 312400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及MOCVD技术领域，且公开了一种LED行业MOCVD设备用尾气收集环，包括反应釜，所述反应釜的右侧连通有连接管，所述连接管的右侧连通有废气管道，所述废气管道的内部固定安装有支架，所述支架的内部固定安装有气囊，所述气囊的底部连通有贯穿并延伸至废气管道外部的气管。该LED行业MOCVD设备用尾气收集环，通过真空泵将反应釜中的尾气进行收集，尾气中的未能进行沉积的尾气在经过支架上的气囊进行沉积，减少了半圆块上过多的沉积进而导致堵塞，同时当气囊的表面沉积到一定的程度时可以通过气管对气囊进行放气使得在气囊上沉积的粉尘进行掉落，从而对气囊进行清洁，避免了堵塞情况的发生，保证了尾气装置运行的正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 气囊 沉积 废气管道 尾气收集 反应釜 支架 尾气 内部固定 连接管 气管 连通 本实用新型 堵塞 表面沉积 底部连通 尾气装置 半圆块 真空泵 掉落 放气 粉尘 清洁 贯穿 外部 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种LED行业MOCVD设备用尾气收集环，包括反应釜(1)，其特征在于：所述反应釜(1)的右侧连通有连接管(2)，所述连接管(2)的右侧连通有废气管道(3)，所述废气管道(3)的内部固定安装有支架(4)，所述支架(4)的内部固定安装有气囊(5)，所述气囊(5)的底部连通有贯穿并延伸至废气管道(3)外部的气管(6)，所述废气管道(3)的顶部固定安装有电机底座(7)，所述电机底座(7)的顶部固定安装有电机(8)，所述电机(8)的输出轴套接有清洁刷(9)，所述废气管道(3)的内部活动安装有半圆块(10)，所述半圆块(10)的右侧固定安装有连接杆(11)，所述废气管道(3)的顶部插接有与连接杆(11)固定连接的转动轴(12)，所述废气管道(3)的右侧与收集箱(13)连通，所述收集箱(13)的内部固定安装有过滤板(14)，所述过滤板(14)的顶部固定安装有集尘袋(15)所述收集箱(13)的内部固定安装有位于过滤板(14)下方的真空泵(16)，所述真空泵(16)的右侧连通有贯穿并延伸至收集箱(13)外部的出气管(17)。
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