[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821568139.6 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN209218393U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张睿;张金宇;康婷 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述泄气部通过所述绝缘连接柱与所述背板固定连接，使得所述泄气部不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 泄气 背板 振膜 本实用新型 绝缘连接柱 电容系统 泄气孔 基底 膜瓣 部分固定 相对设置 背腔 减小 翘曲 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，其特征在于：所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。
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