[实用新型]MEMS麦克风有效

申请号：	201821568139.6	申请日：	2018-09-26
公开（公告）号：	CN209218393U	公开（公告）日：	2019-08-06
发明（设计）人：	张睿;张金宇;康婷	申请（专利权）人：	瑞声声学科技（深圳）有限公司
主分类号：	H04R19/04	分类号：	H04R19/04
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	518057 广东省深圳市南山区高***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	泄气背板振膜本实用新型绝缘连接柱电容系统泄气孔基底膜瓣部分固定相对设置背腔减小翘曲贯穿
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【权利要求书】：

1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，其特征在于：所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背板固定于所述基底，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜位于所述背腔中，并小于所述背腔的孔径。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄气部位于所述振膜的边缘。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄气部设有六个，六个所述泄气部分别间隔设置且呈环形阵列分布。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述绝缘连接柱设有六个且与六个所述泄气部一一对应，六个所述绝缘连接柱均垂直于所述背板设置。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述绝缘连接柱的横截面为圆形或方形。

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