[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述泄气部通过所述绝缘连接柱与所述背板固定连接，使得所述泄气部不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风的可靠性。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜，然而振膜在振动过程中，背板和振膜之间的空气无法尽快排出进而影响了所述MEMS麦克风的性能。

因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可靠性好的MEMS麦克风。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括本体部以及若干与所述本体部连接的泄气部，所述泄气部包括贯穿所述振膜设置的泄气孔及部分固定于所述振膜并位于所述泄气孔的膜瓣，所述MEMS麦克风还包括一端固定连接于所述背板，另一端固定连接于所述膜瓣的绝缘连接柱。

优选的，所述背板固定于所述基底，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。

优选的，所述振膜位于所述背腔中，并小于所述背腔的孔径。

优选的，所述泄气部位于所述振膜的边缘。

优选的，所述泄气部设有六个，六个所述泄气部分别间隔设置且呈环形阵列分布。

优选的，所述绝缘连接柱设有六个且与六个所述泄气部一一对应，六个所述绝缘连接柱均垂直于所述背板设置。

优选的，所述绝缘连接柱的横截面为圆形或方形。

与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风增设绝缘连接柱，所述泄气部通过所述绝缘连接柱与所述背板固定连接，使得所述泄气部不容易产生翘曲，从而减小了低衰现象的发生，进而提升所述MEMS麦克风的可靠性；通过所述膜瓣与所述绝缘连接柱连接，在遇到较强气流时可通过所述振膜向上或是向下移动张开所述泄气孔，使得气流从所述泄气孔流出，减小了所述振膜出现破膜的可能性并且所述膜瓣也不容易产生翘曲，提高了所述MEMS麦克风的稳定性能。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本实用新型MEMS麦克风的立体结构示意图；