[实用新型]一种LED外延用石墨托盘

摘要

本实用新型公开了一种LED外延用石墨托盘，包括底板，所述底板的顶部转动连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有石墨托盘本体，所述石墨托盘本体的顶部以石墨托盘本体的中心为圆心呈圆形开设有多个凹槽，所述凹槽的底部内壁上固定安装有第一齿条，所述凹槽的一侧内壁上开设有矩形槽。本实用新型结构简单，向上拉动第二弧形板使第二齿条脱离第一齿条，进而可以使第二弧形板移动至所需要的位置，另外耐高温弹簧片始终推着第二齿条，可以使第二齿条更紧固的卡在第一齿条上，使得可以调整第一弧形板和第二弧形板的间距，进而可以承载多种尺寸的晶圆，扩大了适用范围，且石墨托盘本体可以进行旋转，便于操作人员上下料，使用方便。

主权项

1.一种LED外延用石墨托盘，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的顶部转动连接有支撑杆(16)，所述支撑杆(16)的顶部固定安装有石墨托盘本体(2)，所述石墨托盘本体(2)的顶部以石墨托盘本体(2)的中心为圆心呈圆形开设有多个凹槽(5)，所述凹槽(5)的底部内壁上固定安装有第一齿条(4)，所述凹槽(5)的一侧内壁上开设有矩形槽(10)，所述凹槽(5)的另一侧内壁上固定安装有第一弧形板(3)，所述矩形槽(10)的顶部内壁上和底部内壁上滑动连接有同一个滑动板(11)，所述滑动板(11)的一侧固定安装有导杆(9)，所述滑动板(11)的另一侧固定安装有耐高温弹簧片(12)，所述耐高温弹簧片(12)的一端与矩形槽(10)的一侧内壁固定连接，所述导杆(9)的一端滑动连接有第二弧形板(8)，所述第二弧形板(8)的底部固定安装有第二齿条(6)，所述第一齿条(4)与第二齿条(6)相啮合，所述第一弧形板(3)和第二弧形板(8)相互靠近的一侧均固定安装有多个对称设置的石墨垫片(7)。