[实用新型]硅片舟自动倒舟装置

摘要

硅片舟自动倒舟装置。涉及半导体技术领域，具体涉及一种硅片舟自动倒舟装置。提供了一种硅片舟可精准定位并快速倒舟的自动倒舟装置。所述硅片舟包括舟体，所述舟体内设有若干硅片放置槽，所述放置槽底部开口，底部的开口宽度小于硅片的直径所述舟体顶部的侧壁上设有轴向上的长条形凸起，所述自动倒舟装置包括工作台和设置工作台上的推片装置，所述工作台上设有凹槽，所述凹槽顶部边缘设有定位板，所述定位板面向凹槽的一面上的底部设有若干对相对设置并垂直于定位板的长条形直角U型框，所述舟体两侧的凸起可适配在开口相对的直角U型框中，所述U型框的长度大于凹槽的开口宽度；本实用新型工作效率高、速度快。

主权项

1.硅片舟自动倒舟装置，所述硅片舟包括舟体，所述舟体内设有若干硅片放置槽，所述放置槽底部开口，底部的开口宽度小于硅片的直径，所述舟体顶部的侧壁上设有轴向上的长条形凸起，其特征在于，所述自动倒舟装置包括工作台和设置工作台上的推片装置，所述工作台上设有凹槽，所述凹槽顶部边缘设有定位板，所述定位板面向凹槽的一面上的底部设有若干对相对设置并垂直于定位板的长条形直角U型框，所述舟体两侧的凸起可适配在开口相对的直角U型框中，所述U型框的长度大于凹槽的开口宽度；所述推片装置包括垂直立在工作台上的T型支架、连接在支架横杆上的气缸、连接在气缸活塞杆顶端的并位于凹槽上方的倒U型框架，当硅片舟位于U型框的底部时，硅片舟和定位板可适配在框架中，所述框架内设有若干水平连接框架两侧的推杆。