[实用新型]双工位旋转载片装置及应用其的光刻机有效
| 申请号： | 201821538429.6 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208922063U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张成安;魏纯;肖乐 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻技术领域，更具体地说，它涉及一种双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其要点是：一种双工位旋转载片装置，其包括机架，机架上设有旋转台、第一驱动机构和顶出机构；旋转台上设有两个以上的活动载片台；旋转台用于受驱动带动活动载片台中的一个运动至光刻工位,另一个运动至下料工位;第一驱动机构用于驱动位于光刻工位的活动载片台运动至第一位置和第二位置；活动载片台用于运动至第一位置时使其上的晶圆接受光刻处理;和运动至第二位置时退回至旋转台上的安装位;顶出机构用于将位于下料工位的活动载片台上的晶圆顶出。根据本实用新型提供的技术方案，其可以通过双工位的快速切换节省上料及下料的时间，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 双工位 载片台 载片装置 第一驱动机构 本实用新型 第二位置 第一位置 顶出机构 下料工位 光刻机 旋转台 光刻技术领域 驱动 工作效率 光刻处理 快速切换 安装位 晶圆 下料 圆顶 载片 应用 | ||
【主权项】：
1.一种双工位旋转载片装置，其特征在于,包括机架(1)，所述机架(1)上设有旋转台(31)、第一驱动机构(33)和顶出机构(34)；所述旋转台(31)，其上设有两个以上的活动载片台(32)；所述旋转台(31)用于受驱动带动各活动载片台(32)依次在光刻工位与下料工位之间切换；第一驱动机构(33),用于驱动位于光刻工位的活动载片台(32)运动至第一位置和第二位置；位于光刻工位的所述活动载片台(32)用于运动至第一位置时使其上的晶圆接受光刻处理;和运动至第二位置时退回至旋转台(31)上的安装位;顶出机构(34),用于将位于下料工位的活动载片台(32)上的晶圆顶出，使晶圆与活动载片台(32)分离。
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