[实用新型]一种气体混合装置有效
| 申请号： | 201821536932.8 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208852854U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张卫 | 申请（专利权）人： | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F3/02;B01F15/02;B01F15/00;B01F5/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201613 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。本实用新型能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 气体进气管路 排出管路 气体混合装置 混合管路 流量计 连通 本实用新型 流量控制器 混合气体 进气管 废气 安全性能 柜体内部 控制混合 气体混合 气体流量 一端连接 柜体 | ||
【主权项】：
1.一种气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置包括柜体(10)以及均设置于所述柜体(10)内部的第一气体进气管路(20)、第二气体进气管路(30)、混合管路(40)、混合气体排出管路(50)以及废气排出管路(60)，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)的一端相连通，且所述混合管路(40)的一端连接所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)连通的一端，所述混合管路(40)的另一端分别连通于所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)，所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)上分别设置有混合气体气动阀(51)和废气气动阀(61)；所述第一气体进气管路(20)上设置有流量计(21)；所述第二气体进气管路(30)上设置有流量控制器(31)，且所述流量控制器(31)根据所述流量计(21)的读数调节所述第二气体进气管路(30)内的气体流量。
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