[实用新型]一种气体混合装置有效
| 申请号： | 201821536932.8 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN208852854U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张卫 | 申请（专利权）人： | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F3/02;B01F15/02;B01F15/00;B01F5/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201613 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体进气管路 排出管路 气体混合装置 混合管路 流量计 连通 本实用新型 流量控制器 混合气体 进气管 废气 安全性能 柜体内部 控制混合 气体混合 气体流量 一端连接 柜体 | ||
1.一种气体混合装置，其特征在于，所述气体混合装置包括柜体(10)以及均设置于所述柜体(10)内部的第一气体进气管路(20)、第二气体进气管路(30)、混合管路(40)、混合气体排出管路(50)以及废气排出管路(60)，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)的一端相连通，且所述混合管路(40)的一端连接所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)连通的一端，所述混合管路(40)的另一端分别连通于所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)，所述混合气体排出管路(50)和所述废气排出管路(60)上分别设置有混合气体气动阀(51)和废气气动阀(61)；所述第一气体进气管路(20)上设置有流量计(21)；所述第二气体进气管路(30)上设置有流量控制器(31)，且所述流量控制器(31)根据所述流量计(21)的读数调节所述第二气体进气管路(30)内的气体流量。
2.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一气体进气管路(20)上设有第一气体进气口(22)，在所述流量计(21)和所述第一气体进气口(22)之间设置有第一气动阀(23)和第一调压阀(24)。
3.根据权利要求2所述的气体混合装置，其特征在于，所述第二气体进气管路(30)上设有第二气体进气口(32)，在所述流量控制器(31)和所述第二气体进气口(32)之间设置有第二气动阀(33)和第二调压阀(34)。
4.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述第一气体进气管路(20)和所述第二气体进气管路(30)上分别设置有第一压力表(25)和第二压力表(35)。
5.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)上设置有混合气出口(52)。
6.根据权利要求5所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)上设置有压力传感器(53)。
7.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述废气排出管路(60)包括沿气体流向方向依次设置的单向阀(62)以及废气排出口(63)。
8.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述混合气体排出管路(50)连通有缓冲罐(54)，所述缓冲罐(54)用于将多余的混合气体进行储存。
9.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述柜体(10)内设置有排风装置(11)。
10.根据权利要求1所述的气体混合装置，其特征在于，所述柜体(10)内设置有警报器(12)以及喷淋装置(13)。
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