[实用新型]一种气体混合装置

说明书

本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。本实用新型能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。

技术领域

本实用新型涉及气体混合技术领域，尤其涉及一种气体混合装置。

背景技术

在半导体行业作业过程中，通常需要使用保护气体确保作业过程中产品不发生氧化，随着行业的发展，对气体的需求量越来越大，传统的供应模式费用较高，交货周期长，需要空间大，人员操作频繁等，而气体混合装置可以减少这方面的问题，提供更加稳定安全的供应。

企业一般选择使用混合气体作为保护气体，但是在使用时，气体混合容易发生意外，当混合比例超出一定范围时，可能影响作业过程中产品的品质，甚至可能引发一定的危险；在实际中，气体混合往往难以控制，混配比例难以控制在相对稳定的范围。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种气体混合装置，能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种气体混合装置，用于按一定比例混合不同的气体，所述气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路，所述混合气体排出管路和所述废气排出管路上分别设置有混合气体气动阀和废气气动阀；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量。

作为一种优选方案，所述第一气体进气管路上设有第一气体进气口，在所述流量计和所述第一气体进气口之间设置有第一气动阀和第一调压阀。

作为一种优选方案，所述第二气体进气管路上设有第二气体进气口，在所述流量控制器和所述第二气体进气口之间设置有第二气动阀和第二调压阀。

作为一种优选方案，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路上分别设置有第一压力表和第二压力表。

作为一种优选方案，所述混合气体排出管路上设置有混合气出口。

作为一种优选方案，所述混合气体排出管路上设置有压力传感器。

作为一种优选方案，所述废气排出管路包括沿气体流向方向依次设置的单向阀以及废气排出口。

作为一种优选方案，所述混合气体排出管路连通有缓冲罐，所述缓冲罐用于将多余的混合气体进行储存。

作为一种优选方案，所述柜体内设置有排风装置。

作为一种优选方案，所述柜体内设置有警报器以及喷淋装置。

本实用新型的有益效果为：

第一气体从第一气体进气管路流入，同时第二气体从第二气体进气管路流入，且第二气体进气管路中的流量控制器根据第一气体进气管路中流量计的读数调节第二气体的流量以精确控制混合气体比例。