[实用新型]自动调节腔室内膜层厚度均匀性的装置和镀膜设备有效
| 申请号： | 201821527169.2 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN209052760U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 田茂;丁蕾 | 申请（专利权）人： | 华丰源（成都）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 610200 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种自动调节腔室内膜层厚度均匀性的装置和包括所述装置的镀膜设备。所述装置包括：位于腔室外的调节机构和位于腔室内的多组挡板，所述多组挡板位于溅射源与载板之间，其中每组所述挡板均与所述溅射源下方形成的镀膜区域内的一个单独区域的形状和尺寸相对应；所述调节机构与各组所述挡板连接，用于在所述镀膜区域内任意一个或多个单独区域处的载板膜厚超过预设膜厚时，根据所述单独区域处的载板膜厚与预设膜厚的差值驱动与所述单独区域对应的一组挡板向所述单独区域的方向移动，直至将所述单独区域部分或全部遮挡。本公开所述装置无需打开腔室就能调节载板上不同区域处的膜层厚度，从而使载板上各处的膜层厚度保持一致。 | ||
| 搜索关键词： | 单独区域 挡板 载板 膜厚 膜层厚度均匀性 镀膜区域 镀膜设备 溅射源 室内 膜层 预设 方向移动 腔室 遮挡 室外 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种自动调节腔室内膜层厚度均匀性的装置，其特征在于，包括：位于腔室外的调节机构和位于腔室内的多组挡板，所述多组挡板位于溅射源与载板之间，其中每组所述挡板均与所述溅射源下方形成的镀膜区域内的一个单独区域的形状和尺寸相对应；所述调节机构与各组所述挡板连接，用于在所述镀膜区域内任意一个或多个单独区域处的载板膜厚超过预设膜厚时，根据所述单独区域处的载板膜厚与预设膜厚的差值驱动与所述单独区域对应的一组挡板向所述单独区域的方向移动，直至将所述单独区域部分或全部遮挡。
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