[实用新型]一种基于旋转照明的表面波成像装置有效

专利信息
申请号: 201821516670.9 申请日: 2018-09-17
公开(公告)号: CN209542448U 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 蒯雁;张斗国 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;顾炜
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种基于旋转照明的表面波成像装置,包括:油浸显微物镜、分束镜、成像管镜、像面探测器、物镜后焦面扫描振镜系统、偏振调制器件、偏振分离器件和表面波成像基底;将激光聚焦在显微系统的油浸显微物镜后焦面,使激光形成大角度平行光束宽场照明于银纳米薄膜和特殊设计的多层介质纳米薄膜基片,激发表面波与表面样品相互作用。正交的偏振分离器件,有效地将激发光滤除,从而显微系统只收集信号光。振镜扫描系统使激光聚焦点在物镜后焦面高速扫描,消除了表面波作用于样品后在成像时带来的拖尾。该装置首次利用旋转照明提高了表面波显微成像的信噪比和分辨率,并首次利用介质多层膜光子带隙结构进行表面波显微成像。
搜索关键词: 表面波 旋转照明 后焦面 偏振分离器件 成像装置 激光聚焦 显微成像 显微物镜 显微系统 物镜 油浸 成像 光子带隙结构 扫描振镜系统 振镜扫描系统 本实用新型 像面探测器 银纳米薄膜 表面样品 多层介质 高速扫描 纳米薄膜 偏振调制 平行光束 成像管 多层膜 分束镜 激发光 信号光 信噪比 有效地 正交的 分辨率 基底 宽场 滤除 拖尾 激光 激发
【主权项】:
1.一种基于旋转照明的表面波成像装置,其特征在于:该装置包括:油浸显微物镜(1)、分束镜(2)、成像管镜(3)、像面探测器(4)、物镜后焦面扫描振镜系统(5)、偏振调制器件(6)、偏振分离器件(7)和表面波成像基底(8);其中,所述的偏振调制器件(6),用于将一束准直后的激光调制成任意方向的线偏光,并保持线偏激光束的功率恒定;经过物镜后焦面扫描振镜系统(5)和分束镜(2)后聚焦在油浸显微物镜(1)的后焦面上,经过油浸显微物镜(1)后形成一束具有特定入射角平行光照明样品,其具有足够大的波矢可以有效地激发表面波成像基底(8)中存在的表面波;表面波在传播中经过样品时,会激发出散射信号光和表面拖尾,通过物镜后焦面扫描振镜系统(5)聚焦在后焦面并使聚焦点沿着一环为轨迹进行高速扫描,就可以消弭拖尾;散射光再次由油浸显微物镜(1)收集,透过分束镜(2)后,被成像管镜(3)成像于像面探测器(4)上,偏振分离器件(7)被置于成像管镜(3)前端,通过设置与偏振调制器件(6)正交的偏振,可以有效地将激发光滤除,从而可以获得高分辨率和对比度的表面波显微成像。
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