[实用新型]破碎机反击板生产用化学气相沉积炉有效

专利信息
申请号: 201821499331.4 申请日: 2018-09-13
公开(公告)号: CN208748194U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 孙伟 申请(专利权)人: 沈阳合诺德机械设备有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 北京久维律师事务所 11582 代理人: 邢江峰
地址: 110000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型公开了破碎机反击板生产用化学气相沉积炉,包括炉本体和进气装置,进气装置包括进气管路和调节装置,进气管路包括内波纹管和外波纹管,内波纹管远离炉本体底部的一端设于外波纹管的外部,内波纹管远离炉本体底部的一端设有内分流帽,其中内分流帽的顶部为封口,底部与内波纹管相连通,且内分流帽沿周向设有数个分流孔,外波纹管远离炉本体底部的一端均设有外分流帽,其中外分流帽的顶部为封口,底部与外波纹管相连通,且外分流帽沿周向设有数个分流孔,调节装置包括内管调节装置和外管调节装置。本实用新型设计合理,结构简单,操作方便,出气位置可调,气体分散均匀,气体在炉内的化学反应均匀、充分,生产效率高。
搜索关键词: 分流帽 调节装置 内波纹管 外波纹管 炉本体 破碎机 化学气相沉积炉 封口 本实用新型 进气管路 进气装置 反击板 分流孔 化学反应 气体分散 生产效率 位置可调 出气 炉内 内管 外管 生产 外部
【主权项】:
1.破碎机反击板生产用化学气相沉积炉,包括炉本体和进气装置,其特征在于:所述的进气装置包括进气管路和调节装置,所述的进气管路包括内波纹管和外波纹管,其中内波纹管和外波纹管的靠近炉本体底部的一端在同一水平面并通过法兰与炉本体相连接,内波纹管远离炉本体底部的一端设于外波纹管的外部,且内波纹管内部为上气路,内波纹管和外波纹管之间为下气路,所述的内波纹管远离炉本体底部的一端设有内分流帽,其中内分流帽的顶部为封口,底部与内波纹管相连通,且内分流帽沿周向设有数个分流孔,所述的外波纹管远离炉本体底部的一端均设有外分流帽,其中外分流帽的顶部为封口,底部与外波纹管相连通,且外分流帽沿周向设有数个分流孔,所述的调节装置包括内管调节装置和外管调节装置。
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