[实用新型]高精度的工作台

摘要

本实用新型涉及一种高精度的工作台，包括：Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、滑块、驱动装置一和位移传感器一，导轨底座、驱动装置一和位移传感器一设于平台底板上，滑块滑动设于导轨底座上，驱动装置一可驱动导轨滑块，位移传感器一与驱动装置一电连接；中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和位移传感器二，固定底板设于导轨滑块上，旋转装置可旋转设于固定底板上，位移传感器二与旋转装置电连接；真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个驱动装置二，载台底板设于旋转装置上，真空载板通过支撑座与载台底板连接，真空载板上设有微孔，两个驱动装置二相对设于载台底板上；及料片，料片吸附于微孔上。这种工作台加工精度更高。

主权项

1.一种高精度的工作台，其特征在于，包括：Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、导轨滑块、第一驱动装置和第一位移传感器，所述导轨底座固定设于所述平台底板上，所述导轨滑块上贯穿设有滑动槽，所述滑动槽穿设于所述导轨底座上将所述导轨滑块与所述导轨底座滑动连接，所述第一驱动装置设于所述平台底板上，并驱动所述导轨滑块沿所述导轨底座滑动，所述第一位移传感器设于所述平台底板上，并与所述驱动装置电连接，所述第一驱动装置根据所述第一位移传感器的检测信号控制驱动位移；中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和第二位移传感器，所述固定底板固定设于所述导轨滑块上，所述旋转装置可旋转的设于所述固定底板上，所述第二位移传感器设于所述固定底板上，并与所述旋转装置电连接，所述旋转装置根据所述第二位移传感器的检测信号控制旋转位移；真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个第二驱动装置，所述载台底板固定设于所述旋转装置上，所述真空载板通过所述支撑座与所述载台底板固定连接，所述真空载板上设有多个微孔，两个所述第二驱动装置相对的设于所述载台底板上，且两个所述第二驱动装置的驱动端朝向所述真空载板的中部；及料片，所述料片吸附设于多个所述微孔上，并用于安装待处理产品。