[实用新型]高精度的工作台

权利要求书

1.一种高精度的工作台，其特征在于，包括：

Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、导轨滑块、第一驱动装置和第一位移传感器，所述导轨底座固定设于所述平台底板上，所述导轨滑块上贯穿设有滑动槽，所述滑动槽穿设于所述导轨底座上将所述导轨滑块与所述导轨底座滑动连接，所述第一驱动装置设于所述平台底板上，并驱动所述导轨滑块沿所述导轨底座滑动，所述第一位移传感器设于所述平台底板上，并与所述驱动装置电连接，所述第一驱动装置根据所述第一位移传感器的检测信号控制驱动位移；

中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和第二位移传感器，所述固定底板固定设于所述导轨滑块上，所述旋转装置可旋转的设于所述固定底板上，所述第二位移传感器设于所述固定底板上，并与所述旋转装置电连接，所述旋转装置根据所述第二位移传感器的检测信号控制旋转位移；

真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个第二驱动装置，所述载台底板固定设于所述旋转装置上，所述真空载板通过所述支撑座与所述载台底板固定连接，所述真空载板上设有多个微孔，两个所述第二驱动装置相对的设于所述载台底板上，且两个所述第二驱动装置的驱动端朝向所述真空载板的中部；及

料片，所述料片吸附设于多个所述微孔上，并用于安装待处理产品。

2.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、支撑组件和第一配合块，所述第一伺服电机固定设于所述平台底板上，且其驱动端沿所述导轨底座的长度方向设置，所述第一伺服电机与所述第一位移传感器电连接，所述滚珠丝杠通过所述支撑组件可转动的设于所述平台底板上，且所述滚珠丝杠的一端与所述第一伺服电机的驱动端固定连接，所述第一配合块的第一侧与所述滚珠丝杠的螺母固定连接，第二侧与所述固定底板固定连接。

3.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括第一固定块，所述第一位移传感器为第一光栅尺组件，所述第一光栅尺组件的读数部分通过所述第一固定块固定锁紧在所述平台底板上，所述第一光栅尺组件的尺带部分与所述导轨底座的外侧连接。

4.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述旋转装置包括旋转台板、大齿轮、第二伺服电机和消隙齿轮组件，所述旋转台板可旋转的设于所述固定底板上，所述大齿轮固定套设于所述旋转台板的外侧上，所述第二伺服电机固定设于所述固定底板上，并与所述第二位移传感器电连接，所述消隙齿轮组件固定设于所述第二伺服电机的驱动端上，并与所述大齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，所述消隙齿轮组件包括主齿轮、副齿轮和压缩弹簧，所述主齿轮和所述副齿轮的尺寸模数相同，并呈上下层叠设置，所述主齿轮与所述副齿轮的齿位错开，且与所述大齿轮啮合，所述压缩弹簧镶嵌设于所述主齿轮和所述副齿轮之间。

6.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括轴承、外圈压环和内圈压环，所述固定底板的一面向内凹陷形成有凹槽，所述轴承设于所述凹槽内，所述外圈压环套设于所述轴承的外侧上，并用于将所述轴承的外圈压紧，所述内圈压环与所述轴承的内侧抵接，并用于将所述轴承的内圈压紧，所述内圈压环与所述旋转台板固定连接。

7.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括第二固定块，所述第二位移传感器为第二光栅尺组件，所述第二光栅尺组件的读数部分通过所述第二固定块固定锁紧在所述固定底板上，所述第二光栅尺组件的尺带部分与所述大齿轮的外侧连接。

8.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述料片包括薄膜和环体，所述环体中部贯穿设有通槽，所述薄膜的外周与所述通槽的内壁连接，所述薄膜和所述环体吸附设于多个所述微孔上。

9.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述载台底板为方形板，所述第二驱动装置设有四个，四个所述第二驱动装置呈两两相对的设于所述载台底板的四条边上。

10.根据权利要求1至9任一项所述的高精度的工作台，其特征在于，所述第二驱动装置包括气缸垫板、气缸、挡板和夹块，所述气缸垫板固定设于所述载台底板上，所述气缸固定设于所述气缸垫板上，且其推杆朝向所述真空载板的中部，所述挡板与所述气缸的推杆固定连接，所述夹块固定设于所述挡板上。