[实用新型]抛光垫有效
| 申请号： | 201821474243.9 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN209036275U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提出一种抛光垫，具有抛光表面，抛光表面上设有多个研磨槽。多个研磨槽包括多个主研磨槽和多个子研磨槽，多个主研磨槽呈网格状分布并界定出呈阵列分布的多个矩形区域，每个矩形区域中分别设有至少一个子研磨槽。据此，本公开提出的抛光垫能够具备较佳的抛光效果，且不会产生毛刺。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨槽 矩形区域 抛光表面 抛光垫 主研磨 毛刺 网格状分布 抛光效果 阵列分布 抛光 界定 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，具有抛光表面，所述抛光表面上设有多个研磨槽，其特征在于，多个所述研磨槽包括多个主研磨槽和多个子研磨槽，多个所述主研磨槽呈网格状分布并界定出呈阵列分布的多个矩形区域，每个所述矩形区域中分别设有至少一个所述子研磨槽。
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