[实用新型]一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室

摘要

本实用新型提供了一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，包括室仓和除尘机构，室仓包括多个隔板和推拉门，隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，隔板的上方还设有除尘机构；除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，风机过滤单元设置于室仓的外部，离子棒设置于室仓的内部；化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，离子棒固定于出风通孔处。本实用新型保障了硅片不受到颗粒、AMC的污染，使目检工作有效进行。

主权项

1.一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室，其特征在于：包括室仓和除尘机构，所述室仓包括多个隔板和推拉门，所述隔板为沿竖直方向设置的矩形板，多个隔板合围成上下开口的矩形筒体，其中一个隔板上还预留供人进入暗室的入口，所述推拉门设置于暗室的入口处，所述隔板还接有多个支柱，支柱的一端连接于隔板下方的侧边，支柱的另一端放置于地面上，所述隔板与地面之间预留出风间隙，隔板的上方还设有除尘机构；所述除尘机构包括风机过滤单元、化学过滤器和离子棒，所述化学过滤器设置于室仓的顶部开口处，所述风机过滤单元和离子棒还分别固定于化学过滤器的两侧，所述的风机过滤单元设置于室仓的外部，所述的离子棒设置于室仓的内部；所述化学过滤器包括盒体和设置于盒体内的活性炭，所述盒体为矩形壳体，所述隔板垂直固定于盒体的底面，盒体的底面与室仓的顶面为密封连接，所述盒体的上下两面还分别设有进风通孔和出风通孔，所述离子棒固定于所述出风通孔处。