[实用新型]整体式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821457738.0 | 申请日： | 2018-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN209227046U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 周一夫 | 申请（专利权）人： | 广州北辰工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种整体式真空镀膜装置，包括底架、镀膜箱、真空系统和控制系统；所述底架的一端设置有腔体；所述镀膜箱固定于腔体的上方；所述真空系统包括二级泵、三级泵；所述二级泵通过密封管道与镀膜箱连通，所述三级泵固定于镀膜箱上；所述二级泵的排气口还连接有一级泵；所述三级泵的排气口还连接有后级泵。二级泵还通过密封管道与三级泵的排气口连通，与后级泵相互并联；二级泵可以对镀膜箱和三级泵的腔体进行抽真空，还可以在后级泵异常时，代替后级泵排除三级泵收集的气体。本实用新型可以高效、稳定的实现高真空镀膜环境，而且采用整体式结构设计，具有结构简单、合理，可以快速、方便的进行搬运及安装的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 三级泵 镀膜箱 二级泵 排气口 腔体 本实用新型 整体式真空 镀膜装置 密封管道 真空系统 底架 连通 高真空镀膜 整体式结构 控制系统 一端设置 抽真空 一级泵 并联 搬运 | ||
【主权项】：
1.整体式真空镀膜装置，其特征在于，包括：底架、镀膜箱、真空系统和控制系统；所述底架的一端设置有腔体；所述镀膜箱固定于腔体的上方；所述真空系统包括二级泵、三级泵；所述二级泵通过密封管道与镀膜箱连通，所述三级泵固定于镀膜箱上；所述控制系统设置在镀膜箱的一侧。
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