[实用新型]整体式真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种整体式真空镀膜装置，包括底架、镀膜箱、真空系统和控制系统；所述底架的一端设置有腔体；所述镀膜箱固定于腔体的上方；所述真空系统包括二级泵、三级泵；所述二级泵通过密封管道与镀膜箱连通，所述三级泵固定于镀膜箱上；所述二级泵的排气口还连接有一级泵；所述三级泵的排气口还连接有后级泵。二级泵还通过密封管道与三级泵的排气口连通，与后级泵相互并联；二级泵可以对镀膜箱和三级泵的腔体进行抽真空，还可以在后级泵异常时，代替后级泵排除三级泵收集的气体。本实用新型可以高效、稳定的实现高真空镀膜环境，而且采用整体式结构设计，具有结构简单、合理，可以快速、方便的进行搬运及安装的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种整体式真空镀膜装置。

背景技术

由于真空镀膜可以在被镀工件的表面形成高质量的金属光泽和镜面效果，根据不同膜层材料的特性，还可以使被镀工件具有出色的光、热、电屏蔽或导通的性能，因此广泛的应用与各种照明、装饰件、光学等工件的表面处理上。

因为真空镀膜装置的结构复杂、体积较大，尤其是在大型、高真空要求的真空镀膜装置上更加突出，导致真空镀膜装置的搬运、安装费时费力。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种整体式真空镀膜装置，可以高效、稳定的实现高真空镀膜环境，而且采用整体式结构设计，具有结构简单、合理，可以快速、方便的进行搬运及安装的特点。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

整体式真空镀膜装置，包括：底架、镀膜箱、真空系统和控制系统；

所述底架的一端设置有腔体；

所述镀膜箱固定于腔体的上方；

所述真空系统包括二级泵、三级泵；所述二级泵通过密封管道与镀膜箱连通，所述三级泵固定于镀膜箱上；

所述控制系统设置在镀膜箱的一侧；

优选的，所述二级泵的排气口连接有一级泵。

优选的，所述三级泵的排气口连接有后级泵4。

优选的，所述三级泵的外形最低点高于底架的下表面。

优选的，所述二级泵通过密封管道与三级泵的排气口连通，二级泵与后级泵相互并联。

优选的，一级泵为单级旋片真空泵，二级泵为罗茨真空泵，三级泵为油扩散真空泵，后级泵双级旋片真空泵。

优选的，所述一级泵、二级泵、三级泵和后级泵均与控制系统电连接。

优选的，底架的底部两侧各设置有若干个脚杯。

优选的，底架的一侧设置有连接杆，控制系统使用紧固件固定于连接杆上。

优选的，底架的两侧均设置有侧架。

优选的，所述一级泵、二级泵和后级泵均固定于泵支架上，泵支架固定于底架的上方，泵支架与底架连接面之间设置有减震垫。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型可以高效、稳定的实现高真空镀膜环境，而且采用整体式结构设计，具有结构简单、合理，可以快速、方便的进行搬运及安装的优点。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为底架及泵支架示意图；

其中：底架10；腔体11；脚杯12；侧架13；减震垫14；连接杆15；镀膜箱20；真空系统30；一级泵31；二级泵32；三级泵33；后级泵34；泵支架35；控制箱40；