[实用新型]一种自控型靶材金属化装置有效
| 申请号： | 201821389601.6 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208791766U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 张磊;陈良杰;郭校亮;张建帅 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种自控型靶材金属化装置，属于靶材金属化技术领域。本实用新型包括固定基座和设于固定基座上方的支撑架，支撑架上固定安装有弹力套筒，弹力套筒内安装有震动棒，震动棒的末端安装有涂铟头，固定基座上设有移动平台，移动平台上方固定有加热平台，靶材设于加热平台上，移动平台在电机带动下移动，弹力套筒的顶端设有压力传感器，压力传感器和电机均与PLC控制器连接，本实用新型实现靶材金属化过程的自动控制，可以稳定控制靶材金属化过程，降低金属化对操作人员操作数量程度的依赖，同时降低操作人员的劳动强度；通过PLC控制器、压力传感器和报警器确保涂铟头的压力值处于一定范围内，从而保证金属化厚度一致。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 本实用新型 压力传感器 弹力套筒 固定基座 移动平台 金属化过程 金属化装置 加热平台 金属化 震动棒 支撑架 自控型 金属化技术 电机带动 厚度一致 人员操作 稳定控制 报警器 电机 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种自控型靶材金属化装置，其特征在于：包括固定基座(12)和设于固定基座(12)上方的支撑架，所述支撑架上固定安装有弹力套筒(1)，所述弹力套筒(1)内安装有震动棒(2)，所述震动棒(2)的末端安装有涂铟头(6)，所述固定基座(12)上设有移动平台(11)，所述移动平台(11)上方固定有加热平台(9)，靶材(8)设于所述加热平台(9)上，所述移动平台(11)在电机带动下移动，所述弹力套筒(1)的顶端设有压力传感器(3)，所述压力传感器(3)和电机均与PLC控制器连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛蓝光晶科新材料有限公司，未经青岛蓝光晶科新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821389601.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有预热功能的激光熔覆装置
- 下一篇：一种搪瓷器具的复合涂层
