[实用新型]一种采用氢化物气相外延方法生长氮化镓材料的镓舟结构有效
| 申请号： | 201821365480.1 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN208776871U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 黄业;刘鹏;王健辉 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种采用氢化物气相外延方法生长氮化镓材料的镓舟结构，包括镓舟组，镓舟上设有添加镓液口，镓舟组上设有入口和出口，所述镓舟组包括至少两个垂直叠加排布的镓舟，相邻的两个镓舟采用连接管道连接相通，该连接管道可采用串联或者并联的方式连接。本实用新型使镓液接触面积和接触时间成倍增加，能高效率的转化氯化镓。 | ||
| 搜索关键词： | 氢化物气相外延 生长氮化镓材料 本实用新型 连接管道 镓液 垂直叠加 高效率 氯化镓 面积和 并联 排布 串联 相通 转化 出口 | ||
【主权项】：
1.一种采用氢化物气相外延方法生长氮化镓材料的镓舟结构，包括镓舟组，镓舟上设有添加镓液口，镓舟组上设有入口和出口，其特征在于，所述镓舟组包括至少两个垂直叠加排布的镓舟，相邻的两个镓舟采用连接管道连接相通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市中镓半导体科技有限公司，未经东莞市中镓半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821365480.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
