[实用新型]管道检测装置有效
| 申请号： | 201821310647.4 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN208847848U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈伯廷;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01V9/00 | 分类号： | G01V9/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种管道检测装置。所述管道检测装置，包括控制器和至少一温控组件；所述温控组件套设于管道外部，用于对所述管道进行电加热并检测所述管道的温度；所述控制器连接所述温控组件，用于判断所述管道排气时所述温控组件的温控参数是否保持在预设范围内，若是，则确认所述管道堵塞。本实用新型能够快速、及时、自动化的检测管道是否发生堵塞，确保了半导体产品的良率，并提高了半导体机台的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 温控组件 管道检测装置 本实用新型 半导体制造技术 半导体产品 半导体机台 控制器连接 管道堵塞 管道排气 管道外部 生产效率 温控参数 控制器 电加热 检测 良率 预设 自动化 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种管道检测装置，其特征在于，包括控制器和至少一温控组件；所述温控组件套设于管道外部，用于对所述管道进行电加热并检测所述管道的温度；所述控制器连接所述温控组件，用于判断所述管道排气时所述温控组件的温控参数是否保持在预设范围内，若是，则确认所述管道堵塞；所述温控组件包括加热机构和传感器；所述加热机构套设于所述管道外部，并连接所述控制器，用于对所述管道进行电加热；所述传感器用于检测所述管道的温度。
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