[实用新型]光纤预制棒芯棒沉积设备自动控制系统有效
申请号: | 201821307862.9 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN208776584U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 顾勇;胡军 | 申请(专利权)人: | 无锡诚勇自动化技术有限公司 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光纤预制棒芯棒沉积设备自动控制系统,包括芯棒沉积单元、原料供应单元、检测单元和控制单元;所述芯棒沉积单元用于完成光纤预制棒芯棒的沉积,包括沉积腔体、升降组件和旋转吊杆;所述原料供应单元用于向所述芯棒沉积单元提供沉积原料,包括SiCl4供应部及沉积喷灯;所述检测单元包括用于实时检测所述沉积腔体内压力值的压力检测器和实时检测芯棒直径的测径装置;所述控制单元包括PLC控制器,用于接收所述压力检测装置、测径装置反馈的压力值及直径,并适应性调节所述进风口、出风口的开度及所述沉积喷灯的喷射流量。该自动控制系统,实现了光纤预制棒芯棒沉积工艺过程的全自动控制,提高了光纤预制棒的产品品质和性能。 | ||
搜索关键词: | 芯棒 光纤预制棒 沉积 自动控制系统 沉积单元 原料供应单元 测径装置 沉积设备 实时检测 喷灯 沉积工艺过程 压力检测装置 本实用新型 全自动控制 适应性调节 压力检测器 产品品质 沉积腔体 喷射流量 升降组件 体内压力 旋转吊杆 沉积腔 出风口 供应部 进风口 检测 开度 反馈 | ||
【主权项】:
1.一种光纤预制棒芯棒沉积设备自动控制系统,其特征在于,包括芯棒沉积单元、原料供应单元、检测单元和控制单元;其中,芯棒沉积单元:包括沉积腔体、升降组件和旋转吊杆,所述旋转吊杆的上端连接在所述升降组件上,所述旋转吊杆可随所述升降组件竖直上升或下降,所述旋转吊杆的下侧置于所述沉积腔体内,在所述旋转吊杆的下端连接有沉积靶棒,在所述沉积腔体的一侧设有进风口,相对的另一侧设有出风口;原料供应单元:包括SiCl4供应部、N2供应部、O2供应部、H2供应部以及通过管道与所述SiCl4供应部、N2供应部、O2供应部和H2供应部连接的沉积喷灯,所述沉积喷灯的喷灯口位于所述沉积腔体的内部并朝向所述沉积靶棒设置,用于向所述沉积靶棒喷射沉积原料;检测单元:包括设于所述沉积腔体内壁上的压力检测器和设于所述沉积腔体一侧的测径装置;所述压力检测器用于实时检测所述沉积腔体内的压力值,并将所述压力值反馈至所述控制单元,所述测径装置用于实时检测芯棒的直径,并将所述直径值反馈至所述控制单元;控制单元:包括PLC控制器,所述PLC控制器的输入端与所述压力检测器、测径装置电连接,所述PLC控制器的输出端与所述进风口、出风口及SiCl4供应部电连接,所述PLC控制器用于根据所述压力检测器反馈的所述压力值控制所述进风口、出风口的开度及根据所述测径装置反馈的所述直径值控制所述沉积喷灯的喷射流量。
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