[实用新型]一种线性电磁执行元件掩模

摘要

本实用新型公开了一种线性电磁执行元件掩模，包括掩模板，掩模板的底部设置有硅晶片，掩模板的顶部设置有芯片，芯片的上表面设置有光栅格，掩模板的上表面涂覆有防尘涂料，防尘膜的下表面设置有保护膜玻璃晶片的下表面设置有抗反射膜，抗反射膜的下表面设置有铬膜。本实用新型在掩模板的上表面设置有防尘涂料和保护膜，可对掩模板进行有效保护，同时防尘涂料为聚硅氧烷聚合物材料制作而成，能有效对掩模板进行防尘，保护膜由硅橡胶高分子聚合物材料制作而成具有极好的防潮性，同时具有极好的韧性，能加强掩模板的强度，在铬的表面涂覆一层抗反射膜，极大减少了铬的反射性，既增强了掩模板的实用性也提高了安全性。

主权项

1.一种线性电磁执行元件掩模，包括掩模板(1)，其特征在于，所述掩模板(1)的底部设置有硅晶片(2)，所述掩模板(1)的顶部设置有芯片(3)，所述芯片(3)的上表面设置有光栅格(4)，所述掩模板(1)的下表面涂覆有第一防尘涂料(9)，所述第一防尘涂料(9)的下表面安装有第一保护膜(5)，所述第一保护膜(5)的下表面设置有玻璃晶片(6)，所述玻璃晶片(6)的下表面设置有抗反射膜(7)，所述抗反射膜(7)的下表面设置有铬膜(8)，所述铬膜(8)的下表面安装有第二保护膜(10)，所述第二保护膜(10)的下表面涂覆有第二防尘涂料(11)。