[实用新型]能检测腐蚀性气体的FFU装置有效
| 申请号： | 201821265145.4 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN208998213U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨政谕 | 申请（专利权）人： | 亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;F24F7/007;F24F13/28;F24F11/89;G01N27/12;F24F110/65 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星;姚惠菱 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，包括FFU本体，FFU本体包括设有通道结构的箱体、驱动气流流经通道结构的风机单元、对流经通道结构的气流进行过滤的过滤单元、与流经通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片以及检测腐蚀试片电性能参数的检测单元。本实用新型根据检测单元检测腐蚀试片的电性能参数变化，进而确定腐蚀试片所接触的气流是否含有腐蚀性气体，如含有腐蚀性气体，可及时停止该FFU及其下方的机台的工作，防止更大量的腐蚀性气体进入洁净空间中及位于被污染FFU下方机台上产品被污染，由于FFU基本布满洁净空间的上方且不同腐蚀试片接触不同通道结构的气流，因此，能够实现检测的全面性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀性气体 试片 检测 腐蚀 流经通道 本实用新型 电性能参数 洁净空间 通道结构 机台 单元检测 风机单元 过滤单元 驱动气流 试片接触 全面性 污染 过滤 | ||
【主权项】：
1.一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，包括FFU本体，所述FFU本体包括设有通道结构（11）的箱体（10）、驱动气流流经所述通道结构（11）的风机单元（20）以及对流经所述通道结构（11）的气流进行过滤的过滤单元（30）；其特征在于，所述FFU装置还包括与流经所述通道结构（11）的腐蚀性气体接触的腐蚀试片（40）和检测所述腐蚀试片（40）电性能参数的检测单元。
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