[实用新型]能检测腐蚀性气体的FFU装置有效
申请号: | 201821265145.4 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN208998213U | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 杨政谕 | 申请(专利权)人: | 亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | F24F3/16 | 分类号: | F24F3/16;F24F7/007;F24F13/28;F24F11/89;G01N27/12;F24F110/65 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星;姚惠菱 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 腐蚀性气体 试片 检测 腐蚀 流经通道 本实用新型 电性能参数 洁净空间 通道结构 机台 单元检测 风机单元 过滤单元 驱动气流 试片接触 全面性 污染 过滤 | ||
1.一种能检测腐蚀性气体的FFU装置,包括FFU本体,所述FFU本体包括设有通道结构(11)的箱体(10)、驱动气流流经所述通道结构(11)的风机单元(20)以及对流经所述通道结构(11)的气流进行过滤的过滤单元(30);
其特征在于,所述FFU装置还包括与流经所述通道结构(11)的腐蚀性气体接触的腐蚀试片(40)和检测所述腐蚀试片(40)电性能参数的检测单元。
2.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)为待测电阻,所述检测单元为测电阻电路。
3.根据权利要求2所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)和所述检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路,所述腐蚀试片(40)作为所述惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。
4.根据权利要求2所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)和所述检测单元组成伏安法测电阻电路,所述腐蚀试片(40)作为所述伏安法测电阻电路的待测电阻。
5.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)设于所述FFU本体的气流输入侧。
6.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述风机单元(20)和所述检测单元共用同一单片机。
7.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述FFU装置模块化设置。
8.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片为铁片、铜片、银片或半导体。
9.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述箱体(10)包括外壳(12),所述外壳(12)围成内腔(11a)并分别设有贯通的进风口(11b)和出风口(11c),所述进风口(11b)、所述内腔(11a)以及所述出风口(11c)构成所述通道结构(11)。
10.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述过滤单元(30)设于所述风机单元(20)的气流输出侧。
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