[实用新型]能检测腐蚀性气体的FFU装置有效

专利信息
申请号: 201821265145.4 申请日: 2018-08-07
公开(公告)号: CN208998213U 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 杨政谕 申请(专利权)人: 亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司
主分类号: F24F3/16 分类号: F24F3/16;F24F7/007;F24F13/28;F24F11/89;G01N27/12;F24F110/65
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 陆金星;姚惠菱
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 腐蚀性气体 试片 检测 腐蚀 流经通道 本实用新型 电性能参数 洁净空间 通道结构 机台 单元检测 风机单元 过滤单元 驱动气流 试片接触 全面性 污染 过滤
【权利要求书】:

1.一种能检测腐蚀性气体的FFU装置,包括FFU本体,所述FFU本体包括设有通道结构(11)的箱体(10)、驱动气流流经所述通道结构(11)的风机单元(20)以及对流经所述通道结构(11)的气流进行过滤的过滤单元(30);

其特征在于,所述FFU装置还包括与流经所述通道结构(11)的腐蚀性气体接触的腐蚀试片(40)和检测所述腐蚀试片(40)电性能参数的检测单元。

2.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)为待测电阻,所述检测单元为测电阻电路。

3.根据权利要求2所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)和所述检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路,所述腐蚀试片(40)作为所述惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。

4.根据权利要求2所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)和所述检测单元组成伏安法测电阻电路,所述腐蚀试片(40)作为所述伏安法测电阻电路的待测电阻。

5.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片(40)设于所述FFU本体的气流输入侧。

6.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述风机单元(20)和所述检测单元共用同一单片机。

7.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述FFU装置模块化设置。

8.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述腐蚀试片为铁片、铜片、银片或半导体。

9.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述箱体(10)包括外壳(12),所述外壳(12)围成内腔(11a)并分别设有贯通的进风口(11b)和出风口(11c),所述进风口(11b)、所述内腔(11a)以及所述出风口(11c)构成所述通道结构(11)。

10.根据权利要求1所述的FFU装置,其特征在于,所述过滤单元(30)设于所述风机单元(20)的气流输出侧。

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