[实用新型]能检测腐蚀性气体的FFU装置

说明书

本实用新型公开了一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，包括FFU本体，FFU本体包括设有通道结构的箱体、驱动气流流经通道结构的风机单元、对流经通道结构的气流进行过滤的过滤单元、与流经通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片以及检测腐蚀试片电性能参数的检测单元。本实用新型根据检测单元检测腐蚀试片的电性能参数变化，进而确定腐蚀试片所接触的气流是否含有腐蚀性气体，如含有腐蚀性气体，可及时停止该FFU及其下方的机台的工作，防止更大量的腐蚀性气体进入洁净空间中及位于被污染FFU下方机台上产品被污染，由于FFU基本布满洁净空间的上方且不同腐蚀试片接触不同通道结构的气流，因此，能够实现检测的全面性和准确性。

技术领域

本实用新型涉及送风过滤领域，具体涉及一种能检测腐蚀性气体的FFU装置。

背景技术

风机过滤机组是一种自带动力的送风过滤装置，英文全称为（Fan Filter Unit），简称FFU，是一种具有过滤功效的模块化的末端送风装置。FFU风机过滤机组可模块化使用。目前，FFU风机过滤机组广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等场合。利用FFU风机过滤机组可制作简易洁净工作台，洁净棚，洁净传递柜、洁净存衣柜等洁净空间，FFU中大都装有高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA），对控制普通的污染物粒子非常有效，但是，对于一些腐蚀性气体（如氯气、氯化氢、硫化物、氮化物等）则没有作用。

现有技术中，通常采用点监测的方法实时监测洁净空间中的腐蚀性气体，即在洁净空间中布置多个采样点，然后将采集到的气体通过管路送至分析设备，分析设备对气体进行分析以测定气体中是否含有腐蚀性气体，如含有，则及时停止采样点所在位置的机台的工作，防止产品被污染。

然而，在洁净空间中布置多个采样点并且通过管路采样然后进行气体分析存在以下缺陷：首先，受限于管路的长度，对于大面积的厂房无法做到采样点的全面覆盖，无法做到全面监测；其次，由于每台分析设备连接多个不同的采样点，分析设备中会残留有前道分析的气流，无法保证后道分析气体的纯度，监测不准确；再次，由于每台分析设备可以连接的管路是有限的，所以连接的采样点也是有限的，需要配备多台分析设备，分析设备仪器昂贵，成本高。综上所述，采用点监测的方法，很难做到监测的全面性和准确性且成本高昂。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，能够实现腐蚀性气体检测的全面性和准确性且节省成本。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，包括FFU本体，所述FFU本体包括设有通道结构的箱体、驱动气流流经所述通道结构的风机单元以及对流经所述通道结构的气流进行过滤的过滤单元；

其中，所述FFU装置还包括与流经所述通道结构的腐蚀性气体接触的腐蚀试片和检测所述腐蚀试片电性能参数的检测单元。

上文中，所述腐蚀试片是一种具有一定电阻值的导体或半导体，其与腐蚀性气体接触后会发生腐蚀，导致其本身的电阻值会发生改变。本申请的核心正是利用了这一点，通过腐蚀试片本身的电阻值的变化，配合检测单元来检测腐蚀性气体是否存在。

至于腐蚀试片的形状，其可以是片形、条形、棒形或其他本领域常用的形状，本申请不作限制。

上述技术方案中，所述腐蚀试片为待测电阻，所述检测单元为测电阻电路。

上述技术方案中，所述腐蚀试片和所述检测单元组成惠斯通电桥测电阻电路，所述腐蚀试片作为所述惠斯通电桥测电阻电路的待测电阻。

上述技术方案中，所述腐蚀试片和所述检测单元组成伏安法测电阻电路，所述腐蚀试片作为所述伏安法测电阻电路的待测电阻。

上述技术方案中，所述腐蚀试片设于所述FFU本体的气流输入侧。

上述技术方案中，所述风机单元和所述检测单元共用同一单片机。