[实用新型]晶圆测试探针卡及探针结构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆测试探针卡及探针结构，其中，晶圆测试探针卡包括：基板，基板表面上设置有第一接地连接区与第二接地连接区；第一接地连接区与所述第二接地连接区之间，基板上开设有电离辐射阻隔槽；沿第一接地连接区的边缘，基板上开设有电离辐射阻隔槽；于基板表面的中间部位，基板上呈环状的设有一圈焊盘；相邻的焊盘之间，基板上开设有电离辐射阻隔槽；对应焊盘，基板上开设有穿针过孔。电离辐射阻隔槽可以阻隔各个区域与基板之间的电性连接，提高绝缘性能；基板上开设穿针过孔，避免探针与基板发生接触，防止电离辐射的产生，基板不用采用成本高的陶瓷材料，即可实现精确测试，大大降低了晶圆测试探针卡的生产成本。

主权项

1.一种晶圆测试探针卡，其特征在于，包括：基板，所述基板表面上设置有第一接地连接区与第二接地连接区；所述第一接地连接区与所述第二接地连接区之间，所述基板上开设有电离辐射阻隔槽；沿所述第一接地连接区的边缘，所述基板上开设有电离辐射阻隔槽；于所述基板表面的中间部位，所述基板上呈环状的设有一圈焊盘；相邻的所述焊盘之间，所述基板上开设有电离辐射阻隔槽；对应所述焊盘，所述基板上开设有穿针过孔。