[实用新型]一种带球面光源的半导体集成电路中测用针卡有效
| 申请号： | 201821234565.6 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN208654209U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王萃东;常兵;施明明;孔令丰;杭晓宇 | 申请（专利权）人： | 江苏七维测试技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波;曹键 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的一种带球面光源的半导体集成电路中测用针卡，包括针卡，所述针卡中心点处设置有探针孔，所述针卡上方设置有固定架，固定架上开设有圆孔，圆孔位于探针孔的正上方，所述圆孔内设置有乒乓球，乒乓球横向中轴线与平板表面位于同一水平线上，所述乒乓球内腔中设置有点光源。本实用新型将点光源与乒乓球合二为一，制作成特殊的球面光源，乒乓球的球表面使得点光源的发射效果好，光照均匀，能够满足多芯片同时测试，且每个芯片上的光照量相同，保证各芯片间的测试一致性，从而有效提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 针卡 乒乓球 球面光源 圆孔 半导体集成电路 本实用新型 点光源 固定架 探针孔 芯片 测试 横向中轴线 同一水平线 测试效率 光照均匀 平板表面 多芯片 光照量 内腔中 球表面 中心点 光源 发射 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种带球面光源的半导体集成电路中测用针卡，包括针卡(1)，所述针卡(1)中心点处设置有探针孔(2)，其特征在于：所述针卡(1)上方设置有固定架，固定架上开设有圆孔，圆孔位于探针孔(2)的正上方，所述圆孔内设置有乒乓球(5)，乒乓球(5)横向中轴线与平板(3)表面位于同一水平线上，所述乒乓球(5)内腔中设置有点光源。
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