[实用新型]一种晶片旋转装置

摘要

本实用新型涉及一种晶片旋转装置，包括一Z字型支撑架，所述Z字型支撑架的上水平支撑架上设有电机，所述Z字型支撑架的竖直支撑架上自上而下依次固定有与竖直支撑架平行的第一旋转轴和连接架，电机依次带动第一旋转轴和连接架；所述连接架的下端设有锥齿轮传动组，所述锥齿轮传动组包括相互垂直的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述Z字型支撑架的下水平支撑架上方设有与下水平支撑架平行的第二旋转轴，所述第二锥齿轮的齿轮轴的一端与第二旋转轴固定连接；所述Z字型支撑架的下水平支撑架上固定连接有横跨第二旋转轴的晶片放置架。本实用新型的优点在于：本实用新型晶片旋转装置能够使硅晶片在浸泡液中旋转，使清洗更均匀，清洗效果更佳。

主权项

1.一种晶片旋转装置，其特征在于：包括一Z字型支撑架，所述Z字型支撑架的上水平支撑架上设有电机，所述Z字型支撑架的竖直支撑架上自上而下依次固定有与竖直支撑架平行的第一旋转轴和连接架；所述电机的电机轴上设有主动轮，所述第一旋转轴的上轴体上设有从动轮，所述主动轮带动从动轮；所述连接架的上端和下端分别设有U型槽，所述第一旋转轴的下轴体设置在连接架上端的U型槽内，所述连接架的下端设有锥齿轮传动组，所述锥齿轮传动组包括相互垂直的第一锥齿轮和第二锥齿轮，且所述第一锥齿轮的齿轮轴设置在连接架下端的U型槽内；所述第二锥齿轮的齿轮轴的一端固定在竖直支撑架的下端，所述Z字型支撑架的下水平支撑架上方设有与下水平支撑架平行的第二旋转轴，所述第二锥齿轮的齿轮轴的另一端与第二旋转轴固定连接；所述Z字型支撑架的下水平支撑架上固定连接有横跨第二旋转轴的晶片放置架，且所述晶片放置架内设有若干个等间距分布且横跨第二旋转轴的晶片安装架，所述晶片安装架与Z字型支撑架的竖直支撑架平行设置。